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產品名稱： 半導(dao)體行業IH80愛德華(hua)干泵維修簡要描述(shu)： 半導體行(xing)業(ye)IH80愛德華(hua)干(gan)泵(beng)維修(xiu).Edwards愛德華(hua)高(gao)級半導體真空(kong)泵(beng)已經過(guo)(guo)現場應用證明，可以(yi)按照工作標準運行(xing)。通過(guo)(guo)延長使用壽命、提(ti)高(gao)運行(xing)時間并提(ti)高(gao)生產率(lv)，同時減小占地(di)面積、降(jiang)低運行(xing)成本，實現了高(gao)的可靠性(xing)能。更新時間： 2023-09-15瀏覽次數： 1076
產品介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,石油,能源,電子 |
半導體行業IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性能。
iH 系列真空泵(beng)為難(nan)以執行(xing)的(de)制程(cheng)（如存(cun)在微粒、易(yi)冷凝(ning)和腐蝕(shi)性副(fu)產品(pin)的(de) PECVD 和 LPCVD 制程(cheng)）提(ti)供(gong)了高(gao)可靠xing。通常(chang)情況下(xia)在使用螺(luo)桿(gan)泵(beng)(beng)時(shi)，應定期的對(dui)螺(luo)桿(gan)泵(beng)(beng)進行檢(jian)查(cha)，發現故障要(yao)及時(shi)維修(xiu)。般螺(luo)桿(gan)泵(beng)(beng)檢(jian)修(xiu)主要(yao)有(you)小(xiao)修(xiu)和大修(xiu)之分，螺(luo)桿(gan)泵(beng)(beng)小(xiao)修(xiu)的檢(jian)查(cha)周期用在6個月左右，大修(xiu)的檢(jian)查(cha)周期應在24個月。根據螺(luo)桿(gan)泵(beng)(beng)運行狀(zhuang)況及狀(zhuang)態監測結果(guo)可適當調整檢(jian)修(xiu)周期。
半(ban)導(dao)體行業IH80愛德華干泵維修前準(zhun)備在檢(jian)修(xiu)螺桿泵(beng)前應做好以下準(zhun)備工(gong)作。
①掌握運(yun)行情況，備(bei)齊(qi)必要的圖紙資料。
②備齊檢修工具、量(liang)具、配(pei)件(jian)及材(cai)料。
③切(qie)斷電源(yuan)及設備與系(xi)統聯系(xi)，內部(bu)介質冷卻、吹掃、置換(huan)干(gan)凈，符合安全檢(jian)修(xiu)條件。
螺桿泵的拆卸與檢查
拆卸螺桿泵時(shi)應按以下步驟進(jin)行(xing)。
①檢(jian)查(cha)電(dian)動機電(dian)源(yuan)；電(dian)源(yuan)應(ying)斷開(kai)(kai)，并將電(dian)源(yuan)開(kai)(kai)關上鎖。檢(jian)查(cha)出、人口閥門關閉情況，若(ruo)沒有(you)關閉，應(ying)關緊。
②松開(kai)電動機與泵(beng)軸(zhou)(zhou)之間的(de)聯軸(zhou)(zhou)器的(de)連接(jie)螺栓，卸下聯軸(zhou)(zhou)器。
③拆卸(xie)檢查同步齒輪。
對于單(dan)螺桿泵(beng)或三螺桿泵(beng)，拆(chai)卸泵(beng)后(hou)端蓋，檢(jian)查(cha)墊片、止推墊片、軸(zhou)(zhou)承(cheng)、軸(zhou)(zhou)向定(ding)位塞(sai)。
對于雙(shuang)螺桿(gan)泵，拆卸(xie)泵后端蓋，拆卸(xie)檢(jian)查軸承及密封。
④拆(chai)卸前(qian)端蓋(gai)，拆(chai)卸檢查主、從動螺稈及密封。
⑤必(bi)要時更換端蓋與(yu)泵體之間墊片。
半導體(ti)行業IH80愛(ai)德(de)華(hua)干泵維修，超長保固期。
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