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產品介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,石油,能源,電子 |
GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。東(dong)莞(guan)鑰大真(zhen)(zhen)空設備有限公(gong)司提(ti)供Pfeiffer普發、Leybold萊寶、adixen阿爾(er)卡(ka)特、Edwards愛(ai)德華、Varia瓦里安、ULVAC愛(ai)發科(ke)等進口品牌的真(zhen)(zhen)空泵(beng) 螺(luo)桿(gan)泵(beng)維(wei)修(xiu)保養服務
GV400愛德華干泵維修流程
（1）擦凈零(ling)件，疏通(tong)油(you)孔 。
（2）把(ba)旋片及彈(dan)簧(huang)裝入高(gao)級轉(zhuan)子槽內(nei)后，把(ba)高(gao)級轉(zhuan)子裝入泵(beng)身內(nei)，裝上(shang)高(gao)級泵(beng)蓋、肖(xiao)、螺釘、鍵、軸套(tao)等(deng)，用手(shou)旋轉(zhuan)，應(ying)無滯(zhi)阻和明顯(xian)輕重。
（3）低級轉(zhuan)子(zi)裝配同上。
（4）裝止(zhi)回閥(fa)葉輪部件，應使止(zhi)回閥(fa)平面對準進油(you)咀孔二(er)用于輕(qing)輕(qing)擋住葉輪并旋(xuan)轉轉子，油(you)孔應時開時閉，調整閥(fa)頭平面開啟(qi)高度為0. 8-1. 1mm。
（5）裝上(shang)泵部的排(pai)氣閥、擋油(you)板等零件。
（6）把泵部(bu)件、鍵、軸套、電機裝在(zai)支座上(shang)。
（7）裝油箱(xiang)。
（8）插入進氣咀、氣鎮(zhen)閥、裝上壓板，螺釘(ding)緊固。
注意：
（1）裝配(pei)時(shi)，各摩擦面(mian)應涂上清潔的真(zhen)空泵油。
（2）記住零件的原裝配(pei)位置(zhi)，可減少跑合時間。
（3）緊(jin)固體應(ying)無松動，緊(jin)固時(shi)應(ying)均勻施(shi)力。
（4）對磨損零件應(ying)檢(jian)查，并酌情修理或調換。
（5）總裝結(jie)束后(hou)，可(ke)以從泵進氣口加入少量(liang)泵油(you)，然后(hou)用手轉(zhuan)動，轉(zhuan)動時(shi)，手的(de)感覺應是阻力均勻，無明顯阻滯現(xian)象。
我們將按(an)GV400愛德華干泵維修流程，為(wei)客戶保證維修之設備(bei)的質量
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